AR-P 1200 產品說明

AR-P 1200 系列產品為調配好的噴塗光阻. 適合各類型的應用

產品編號: AR-P 1210 / AR-P 1220 / AR-P 1230

產品包裝:

   250 ml/ /瓶

1,000 ml/ /瓶

無固定生產排程,需事先徵詢.

出貨: 🔲   4 - 8 週. 徳國運出

            🔲         1 週. 國內庫存

Characterization 產品特性

• broadband UV, i-line, g-line

曝光波長: 寬頻紫外線, i-line (365nm) , g-line (436nm)

• AR-P 1210  positive resists for a uniform coverage of vertical trenches

AR-P 1210 正型光阻適合平均的覆蓋垂直漕溝.

• AR-P 1220 for etch profiles with 54° slopes

AR-P 1220適合54º斜坡的結構

• AR-P 1230 for planar wafers good adhesion, smooth surface

AR-P 1230適用於平面晶圓, 有良好接著度及表面特性.

• combination of novolac and naphthoquinone diazide

主要成份為酚醛樹酯及叠氮基萘醌

• safer solvent PGMEA as well as methyl ethyl ketone

使用安全溶劑PGMEA及MEK